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【図書】 シリコンマイクロ加工の基礎 Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ 利用不可

-- Ｍ．エルベンスポーク／著 -- シュプリンガー・フェアラーク東京 -- ２００１．１２ -- --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
県川 川書凍結 /549.8/208/ 80931447 図書 〇

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タイトル シリコンマイクロ加工の基礎
タイトルカナ ｼﾘｺﾝ ﾏｲｸﾛ ｶｺｳ ﾉ ｷｿ
並列タイトル Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ
責任表示 Ｍ．エルベンスポーク ／著, Ｈ．Ｖ．ヤンセン ／著, 田畑修 ／訳, 佐藤一雄（１９４８～） ／訳  
出版地 東京
出版者 シュプリンガー・フェアラーク東京  
出版年 ２００１．１２
ページ数 ４３１ｐ
大きさ ２７ｃｍ
本体価格 ８９００円
タイトル注記（タイトルに関する注記） 原書注記：Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ．の翻訳　文献等：索引あり　文献あり
採用分類表 9,8
採用分類表による分類記号 549.8,549.8
ISBN 4-431-70934-7
一般件名 シリコーン
URL https://www.klnet.pref.kanagawa.jp/winj/opac/switch-detail-iccap.do?bibid=1101586816

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