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【図書】 半導体の酸化機構と酸化膜 貸出可

-- 応用物理学会半導体分野将来基金委員会／編 -- 近代科学社Ｄｉｇｉｔａｌ,近代科学社(発売) -- ２０２６．２ -- 549.8 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
県川 川公開 /549.8/431/ 81831018 図書 〇

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タイトル 半導体の酸化機構と酸化膜
タイトルカナ ハンドウタイ　ノ　サンカ　キコウ　ト　サンカマク
責任表示 応用物理学会半導体分野将来基金委員会 ／編  
出版地 〔東京〕
出版者 近代科学社Ｄｉｇｉｔａｌ, 近代科学社(発売)  
出版年 ２０２６．２
ページ数 ４０２ｐ
大きさ ２６ｃｍ
本体価格 ５８００円
注記－書誌年譜年表 文献あり
NDC分類(8版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8  
NDC分類(10版) 549.8  
ISBN 4764907798
ISBN13桁 978-4-7649-0779-9
言語等 日本
一般件名 半導体 , 酸化
URL https://www.klnet.pref.kanagawa.jp/winj/opac/switch-detail-iccap.do?bibid=1121221430

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