普及版 -- 上田充/監修 -- シーエムシー出版 -- 2015.11 -- --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
県川 川公開 /578.4/183/ 81650152 図書

資料詳細

タイトル フォトレジスト材料開発の新展開
タイトルカナ フォトレジスト ザイリョウ カイハツ ノ シンテンカイ
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
叢書名カナ エレクトロニクス シリーズ
版表示 普及版
責任表示 上田充 /監修  
責任表示カナ ウエダ,ミツル  
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版  
出版年 2015.11
ページ数 317p
大きさ 26cm
本体価格 5000円
タイトル注記(タイトルに関する注記) 文献等:文献あり
採用分類表 9,8
採用分類表による分類記号 578.4,578.4
ISBN 4-7813-1039-8
ISBN13桁 978-4-7813-1039-8
一般件名 感光性樹脂 , リソグラフィー
URL https://www.klnet.pref.kanagawa.jp/winj/opac/switch-detail-iccap.do?bibid=1105311244