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【図書】 レジストプロセスの最適化テクニック 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術 貸出可

-- -- 情報機構 -- ２０１１．９ -- --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
県川 川公開 /549.7/233/ 81522864 図書 〇

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タイトル レジストプロセスの最適化テクニック
タイトルカナ ﾚｼﾞｽﾄ ﾌﾟﾛｾｽ ﾉ ｻｲﾃｷｶ ﾃｸﾆｯｸ
副書名 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術
副書名カナ ﾋﾞｻｲｶ ﾄﾗﾌﾞﾙ ｶｲｼｮｳ ﾉ ﾀﾒﾉ ｺｳﾃｲﾍﾞﾂ ﾀｲｻｸ ｵﾖﾋﾞ ｻﾞｲﾘｮｳ ｷﾞｼﾞｭﾂ
出版地 東京
出版者 情報機構  
出版年 ２０１１．９
ページ数 ５５７ｐ
大きさ ２７ｃｍ
本体価格 ６９０００円
タイトル注記（タイトルに関する注記） 文献等：文献あり　索引あり
採用分類表 9
採用分類表による分類記号 549.7
ISBN 4-904080-90-0
ISBN13桁 978-4-904080-90-0
言語等 日本
出版国 日本
一般件名 リソグラフィー
URL https://www.klnet.pref.kanagawa.jp/winj/opac/switch-detail-iccap.do?bibid=1104249048

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