-- 徳山巍/著 -- オーム社 -- 199702 -- --

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
県川 川外相模 /549.7/107/ 80797954 図書

資料詳細

タイトル 超微細加工技術
タイトルカナ チョウ ビサイ カコウ ギジュツ
叢書名 応用物理学シリ-ズ
叢書副書名 専門コ-ス
著者 徳山巍 /著  
著者カナ トクヤマ,タカシ  
出版地 東京
出版者 オーム社  
出版年 199702
ページ数 309p
大きさ 22cm
本体価格 ¥6695
タイトル注記(タイトルに関する注記) 叢書の編者:応用物理学会 各章末:参考文献
採用分類表 NDC8
採用分類表による分類記号 549.7
ISBN 4-274-02332-X
一般件名 集積回路
URL https://www.klnet.pref.kanagawa.jp/winj/opac/switch-detail-iccap.do?bibid=1100529572