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【図書】 半導体製造装置用語辞典 外部取寄

第２版 -- 日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９１０９ -- --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
県川 川外相模 /549.8/27/ 80282510 図書 貸出不可

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ﾖｳｺﾞ ｼﾞﾃﾝ
版表示 第２版
責任表示 日本半導体製造装置協会 ／編  
責任表示カナ ﾆﾎﾝ ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ｷｮｳｶｲ  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社  
出版年 １９９１０９
ページ数 ４１９ｐ
大きさ ２２ｃｍ
本体価格 ￥４３００
タイトル注記（タイトルに関する注記） 引用文献一覧表：ｐ３３３
採用分類表 NDC8
採用分類表による分類記号 549.8
ISBN 4-526-02987-4
一般件名 半導体 , 辞典
URL https://www.klnet.pref.kanagawa.jp/winj/opac/switch-detail-iccap.do?bibid=1100447021

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