第2版 -- 日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 199109 -- --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
県川 川外相模 /549.8/27/ 80282510 図書 貸出不可

資料詳細

タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版表示 第2版
著者 日本半導体製造装置協会 /編  
著者カナ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社  
出版年 199109
ページ数 419p
大きさ 22cm
本体価格 ¥4300
タイトル注記(タイトルに関する注記) 引用文献一覧表:p333
採用分類表 NDC8
採用分類表による分類記号 549.8
ISBN 4-526-02987-4
一般件名 半導体 , 辞典
URL https://www.klnet.pref.kanagawa.jp/winj/opac/switch-detail-iccap.do?bibid=1100447021